无尘室的构造
无尘室的构造主要有5个部分:
1、无尘室洁净度
无尘室的洁净度用洁净等级来表示,分别为10级、100级、1000级、10,000级、100,000级。数值越小则净化度越高,例如:100级高于 1000级、1000级高于10000级等。在不同级的无尘室中,1立方英尺体积中所含的粉尘数不同(指粒度> 0.3um的粉尘)。
以万级无尘室为例,其空气的洁净度比100级无尘室低100倍。洁净级别高的无尘室内空气压力也高。一旦打开不同级别间无尘室的门,空气会从洁净度高的室流向洁净度低的室,这样高洁净度的室不会被污染。尽管如此,还是应避免经常打开不同级别无尘室间的门。
2、无尘室的构造方式
气流方法
A)垂直气流型( Class 1~100 )
B)水平气流型 ( Class 100 )
C)乱流型 ( Class 1,000~100,000 )
D)混流型( Class 1,000~100,000 )
4、风机过滤器系统
FFU为低噪音、高效率的除尘系统,能够方便的为无尘室提供高质量的过滤空气。
风机过滤单元系统
安装在无尘室天花板龙骨架上的直流FFU系统
5、无尘室的必要性
为了避免生产过程中出现污染和腐蚀,空气当中的细小微粒和微生物数量必须减到较小,于是,无尘室技术现在成为了许多工业的基本要求。
无尘室设备用于微电子工业、半导体、精密机械、制药业、塑料制品和食品加工业等各个领域。